透過極点図、反射極点図同時処理時の吸収補正

透過極点図が測定可能な試料の場合、反射法のrandom測定を試料と同じ厚さのrandomが用意出来ると、defocusファイル作成時、吸収補正は行わない。作成されるdefocus曲線には本来のdefocus+吸収効果が含まれる。このようなdefocusファイルを用いる場合、反射処理は吸収補正を行わないが透過処理には吸収処理を行う。 反…

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真空スパッタによる成膜の注意点

成膜された材料の方位解析を行う場合、XRDによる極点測定が行われるが、圧延材と異なり、膜厚が薄い。 圧延材では、バックグランド除去とdefocus補正を行えば解析できるが、膜厚が薄い場合、回折に寄与する体積の変化も補正しなければなりません。どちらも極点図のα方向の補正である。 体積の変化は吸収補正で行われる。 以下に注意点を纏めま…

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Rigaku-UNIX(HP)で測定したデータをWindows10で処理

Rigakuでは、カシオ(FP-6000,FP-7000)のOSWindows制御後、OSがUNIXに変わった時期があります。 その後、Windows-XPに変わり現在ではWindos-10で制御が行われています。 UNIXのシステムはコンピュータの故障などからWindows-XPに交換されていますが、一部UNIXが使われています。…

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