薄膜材料の極点図、結晶方位をValueODFVFで評価する

金属薄膜材料の結晶方位を評価する場合、極点図を測定するが、試料を傾けて測定するため、X線の回折に寄与する体積が異なった測定になり、補正が必要です。従来、極点図解析、ODF解析はブラックボックスでどのような補正が行われているか分からない部分がありました。又、ODF解析でも入力極点図に矛盾があるのか分からない状態で結果を表示していました。こ…

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極点解析、ODGF解析のエラー評価、ValueODFVF

従来、極点処理やODF解析はブラックボック状態で、処理が適正に行われているか評価出来なかった。 そこで、極点処理ではODFPoleFoigure2ソフトウエアでバックグランド処理、RD補正、吸収補正、Defocus補正の量を確認出来るようになっていた。又ODF解析のエラー評価として、入力極点図と再計算極点図の差を表示するValueOD…

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